На более высоких частотах СВЧ-диапазона используют резонансные частотомеры в виде цилиндрических объемных резонаторов. Большую широкополосность и высокую добротность имеют резонаторы, возбуждаемые на колебаниях вида Н^О₀₁₁ и Н^О₁₁₁.

В случае резонаторов на колебаниях вида Н^О₀₁₁ для изменения длины цилиндра можно применить бесконтактную торцевую пластину (см. рис. 7,б), так как линии токов колебания этого вида имеют вид окружностей в поперечном сечении цилиндра. Наличие зазора необходимо для устранения других видов колебаний, линии токов которых проходят через зазор. Поле этих колебаний, возбуждаемое в пространстве за пластиной, поглощается в специальном поглощающем слое. Наиболее опасными являются колебания вида Е^О₁₁₁, имеющие ту же резонансную частоту, что и Н^О₀₁₁. Для ее подавления кроме перечисленных выше мер большое значение имеют выбор и расположение элементов связи учитывающие различие в конфигурации полей колебаний вида Н^О₀₁₁ и Е^О₁₁₁. В рассматриваемом случае элемент связи представляет собой узкую щель, прорезанную по образующей цилиндра и вдоль узкой стенки подводящего волновода. Повышенные требования предъявляются к тщательности изготовления резонатора, поскольку даже небольшая асимметрия может привести к возбуждению колебаний вида Е^О₁₁₁ и к снижению добротности резонатора, достигающей в 10-см диапазоне волн 50000.

Конструкция резонатора, работающего на колебаниях вида Н^О_111, изображена на рис. 7в. Нагруженная добротность его может составлять 15000, что достигается увеличением объема резонатора. Поскольку колебание вида Н^О₁₁₁ является основным, сравнительно простыми мерами можно освободиться от паразитных видов колебаний, не сужая значительно диапазон перестройки частот. Длину резонатора изменяют перемещением поршня, который, в отличие от предыдущего случая, должен быть обязательно электрически связан с боковой поверхностью цилиндра при помощи дроссельного соединения, как это указано на рисунке. Погрешность широкодиапазонных частотомеров с цилиндрическими резонаторами в диапазоне длин волн 1 – 15 см составляет 0,01 – 0,05%. Однако в узком диапазоне частот можно получить погрешность 0,005%, а разность частот может быть измерена с погрешностью до 0,001% номинальной частоты.

Погрешность измерения частоты резонансным частотомером зависит от точности настройки его в резонанс, от совершенства механической системы и градуировки, а также от влияния влажности и температуры окружающей среды.