Пользовательского поиска
|
Термическое
окисление поверхностей кремния является наиболее технологичным методом
получения пленок SiO2. В этом случае в качестве окисляющей среды
используются сухой или увлажненный кислород либо пары воды.
При
окислении температура рабочей зоны поддерживается на уровне 1100 – 1300 °С.
Окисление проводится методом открытой трубы в потоке окислителя. В сухом
кислороде выращивается наиболее совершенный по структуре окисный слой, но
процесс окисления при этом проходит медленно (Т = 1200 °С, толщина d слоя SiO2
составляет 0,1 мкм).
На
практике окисление проводят в три стадии: в сухом кислороде, влажном кислороде
и снова в сухом. Для стабилизации свойств защитных окисных слоев в процессе
окисления в среду влажного кислорода или паров воды добавляют борную кислоту,
двуокись титана и др.
Фотолитография для вскрытия окон в
окисле и проведения локальной диффузии в местах формирования скрытых слоев
Создание
на поверхности подложки защитной маски малых размеров, используемой в
дальнейшем для проведения локальных процессов травления, диффузии, эпитаксии и
др., образуется с помощью фоточувствительного слоя (фоторезиста), который под
действием света изменяет свою структуру. По способности изменять свойства при
облучении фоторезисты делятся на негативные и позитивные.
Освещение
негативного фоторезиста вызывает дополнительную полимеризацию его молекул,
вследствие чего после проявления пластины полупроводника на ней остаются
нерастворимые участки рисунка, которые представляют собой негативное
изображение фотошаблона, а неосвещенные участки фоторезиста смываются в
растворителе при проявлении.
В
позитивном фоторезисте под действием света происходит разрушение молекул. При
проявлении такой фоторезист удаляется с освещенных участков, а на поверхности
пластины остается позитивное изображение фотошаблона.
Фоторезист
должен быть чувствительным к облучению, иметь высокую разрешающую способность и
кислотостойкость.
Для создания определенного рисунка с помощью фоторезиста используется фотошаблон, представляющий собой пластину из оптического стекла, на поверхности которой содержится рисунок, соответствующий по размерам